羅茨真空泵使用一段時間后，會出現一些故障，我們在檢修時要注意查看軸承、油封、機封、皮帶等是否損壞，若損壞需及時更換，并做好羅茨泵的安裝工作。
1、拆卸及清洗
第一步，拆卸三角皮帶，拆卸泵進出口管道和伴熱蒸汽管線、氮氣管線;拆卸地腳螺栓，把真空泵移到檢修平臺;
第二步，打開泵頂部各級蓋板，用塞尺從上蓋板處插人測量轉子和各級隔板的前后間隙，做好記錄;
最后，在真空泵上部的整個平面位置用記號筆，做好明顯標記以免恢復時出錯;標記清楚主動轉子和從動轉子的前后方位;拆卸真空泵的泵體連接螺栓，逐級從尾端拆卸，同時測量和記錄各級隔板之間的紙墊厚度，直到完全解體。用酒精清洗干凈真空泵各部件，結垢的部分可用紗紙清理;轉子墻板和隔板拉毛的部分用銼刀修理平整，拋光機打磨光潔。
2、安裝步驟
準備好需要更換的新轉子、滾動軸承、油封、機械密封、調整紙墊;把前后軸承箱墻板上的油封更換好備用。
(1)用長方形框架固定檢修平臺上，把一級轉子的前端隔板放在上面，按照標記放入主動和從動轉子，逐級安裝泵殼、隔板、級間密封環、調整紙墊以及四角處的圓柱定位銷，注意調整紙墊的厚度需要和拆卸時的記錄一致，擰緊泵體緊固螺栓。
(2)泵體平放檢修臺，安裝兩端隔板處轉子的節流環;安裝軸承箱內墻板;安裝軸承座及軸承。
(3)用塞尺檢查各級轉子和隔板的前后間隙，要求其符合真空泵的檢修手冊間隙數據，一般是保證轉子和前后隔板的間隙大于所要求的最小值，調整范圍在0~+0.10mm。
(4)預裝同步齒輪:安裝鎖緊有鍵槽的同步齒輪，有圓錐的同步齒輪先用手輕輕壓緊即可。
(5)肥兩轉子角度調整為交叉90°，用塞尺插人第二級兩轉子之間，固定長軸垂直的轉子;用手輕輕盤車另一個轉子，感覺松緊前后相當，再把鎖緊螺母擰緊在圓錐同步齒輪上;再手動盤車應無卡死現象。
(6)用塞尺檢查各級轉子間的間隙，在兩轉子與水平線成±45°位置要作檢查;D為兩轉子的總間隙，一般要求轉子在-45°時為D/3，轉子在+45°時間隙為2D/3。
(7)安裝前后軸承箱后蓋板及油封、機械密封，安裝后端冷卻水箱，安裝皮帶輪;
(8)羅茨真空泵安裝回原設備基礎，緊固地腳螺栓，調整三角皮帶松緊度，恢復進出口管道連接。
(9)加潤滑油，檢查密封情況，準備試車。