高真空蝶閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執行氣缸驅動蝶閥作啟閉運動。GIQ系列高真空蝶閥適用于高真空系統中用于接通或切斷真空管路中的氣流功能。適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。氣動高真空蝶閥是用壓縮空氣為動力。通過氣動裝置改變氣路方向，執行氣缸推動蝶閥作啟閉運動。氣動高真空蝶閥可選配反饋信號裝置及電氣閥門定位器。
按照介質壓力真空閥門可分為
低真空閥門：真空度范圍為低真空105到10-2Pa（760~10托）
高真空閥門：真空度范圍為高真空105到10~10-4Pa（760~10-6托）
超高真空閥門：真空度范圍為超高真空10到10-7Pa（760~10-99